二手 STAUBLI TX60 #9258521 待售

STAUBLI TX60 Wafer Handler是一种自动处理精细晶片和其他基板的机器人设备。这种最先进的设备为晶圆处理和处理提供了卓越的自动化、灵活性和安全性。它非常适合晶片加工应用，如热加工、涂层、拾取和放置、掩模对准和印记光刻。晶圆处理程序由多轴臂组成，使系统能够以极好的精度调节和操纵基板。该臂由提供高扭矩和令人印象深刻的速度的先进伺服电机提供动力。此外，该单元还包括一个强大的线性执行器，允许在五个轴上精确移动。这种晶片处理程序的精度是通过使用编码器和限位开关来实现的，这种开关可以检测手臂和基板的位置。为了获得更高的精度,该机具有专用力和扭矩特性。这使得易碎晶片和基材的转移更加温和和安全。它还提高了工具在处理高价值过程中的可靠性。TX60晶圆处理程序提供卓越的安全性。它包括一个运动协议，防止晶片夹持器和晶片在处理过程中交叉，确保晶片的完整性永远不会受到损害。为了进一步确保晶片的安全，资产可以配置专门的传感器，防止任何抓握错误。除了出色的安全特性外,该型号还提供卓越的多功能性和性能。它与大多数晶片夹持器兼容，支持广泛的晶片尺寸，并提供可编程的速度和力控制。这允许用户根据晶圆的灵敏度调整速度和力。此外，该设备提供了卓越的灵活性，能够处理不同类型的基板处理需求。STAUBLI TX60 Wafer Handler是一种坚固可靠的设备,可提供灵活的操作和卓越的性能。它为所有类型的晶圆处理应用提供了精确、安全和灵活的理想组合。