二手 STAUBLI TX90 XLSCRfsi2 #9294303 待售
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STAUBLI TX90 XLSCRfsi2是一种晶圆处理器，其设计目的是满足半导体制造中对更高的吞吐量和精度的需求。它是一个六轴中型机器人平台,提供卓越的性能、兼容性和可重复性。STAUBLI TX90是建立在一个刚性，持久的基础框架，提供稳定和运动控制。它配备了一个先进的位置控制器，同时引导和控制六个轴中的每一个轴，使系统能够平稳、精确地移动机械手臂。控制系统能够在操作过程中计算和监控每个轴的位置。机器人被封闭在不锈钢外壳中，以提供环境保护。STAUBLI TX90设计用于处理直径不超过12英寸的晶片。它具有电机驱动的平台头，可以配置为接受各种晶圆尺寸。机器人手臂上有一个末端效应器，它安装在手腕上以固定和操纵晶片。机器人配备了精密的直线运动导轨和高扭矩驱动器，使机器人能够高精度地移动。STAUBLI TX90为要求苛刻的生产应用程序提供了高水平的性能和可靠性。机器人的循环时间为0.3秒，可重复性为± 0.004"。机器人可以轻松有效地融入现有生产线。它的最大有效载荷容量可达44磅，能够在0-40°C的温度范围内工作。STAUBLI TX90的设计符合半导体行业的要求，非常适合晶圆传输等应用，确保无缺陷晶圆处理。机器人臂的先进特性使其成为高通量、高精度半导体加工的理想选择。
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