二手 STAUBLI TX90 #293587131 待售

ID: 293587131
优质的: 2016
Robots Robot controller 2016 vintage.
STAUBLI TX90是一种晶片处理程序,旨在为用户提供可靠高效的晶片加载和传输解决方桉。该设备能够供应多个晶片盒,最多可装载8个晶片,直径在4至400毫米之间。系统的模块化设计允许用户升级单元,以处理200 mm、300 mm和450mm晶圆个体。TX90由三个主要组件组成:轴模块、晶圆传输臂和晶圆盒式磁带。轴模块是一个独立的单元,容纳几个伺服电动机,作为整台机器的基础。该模块提供了广泛的运动,允许多达五个轴的运动精确加载和处理晶圆。电动机配置为驱动晶圆传输臂,该臂将晶圆从一个点引向另一个点。晶圆传递臂与轴模组相连,是晶圆处理器的主要元件。它由不锈钢制成,封装在坚固的外壳中,以确保符合要求的安全标准。手臂上装有几个夹持点,可以安全地携带各种尺寸的晶片。它还配备了有助于精确处理的传感器,以及沿其长度方向的各种接触点,以确保始终与晶片盒和其他组件接触。最后,晶片盒是工具的组成部分。它旨在方便大批量晶圆的装载和运输。它由阳极氧化铝构成,有各种尺寸,以适应不同的晶圆直径。盒式磁带配有弹簧加载支架,并包含特殊阀门,可精确处理晶片。它还有几个有助于晶圆识别的传感器,以及确保与晶圆传递臂接触的联系点。总之,STAUBLI TX90是为半导体工业量身定制的高效、精确的晶圆处理解决方桉。该资产以模块化设计为基础,能够处理各种不同的晶圆尺寸,并且可以轻松扩展以适应不同的要求。它采用坚固的材料建造,以确保安全、一致和可靠的操作,以及快速的晶片装卸。
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