二手 SWECO ITAL-500 #9392922 待售

SWECO ITAL-500晶片处理程序是一种机器人设备，设计用于精确控制半导体加工环境中晶片的串联流动。它设计用于需要多个晶圆处理序列的应用，包括epiwafer制造、晶圆探针和其他相关系统。ITAL-500由机电晶片装载机、晶片传输机构、主轴驱动器和可选的狭缝臂单元组成。机电晶片装载机设计用于装载多达100个晶片。装载机内置一个游标标尺，用于精确公差测量，放置在靠近机器人喷嘴的板可以从装载机中拾取晶片而不会造成接触损坏。这样可以确保晶片的重复和准确加载。晶圆传输机制沿内部轨道提供精确和可重复的运动，允许晶圆进行多次拾取和输送操作。该机构设计用于支持x轴和y轴中的+/-1mm运动,以及z轴中的+/-0.5mm运动。集成的主轴驱动器提供可调节的速度和方向控制,以便在运输过程中精确处理晶片。速度控制可从每分钟0转到6000转进行调节，而方向可以在顺时针和逆时针两种模式下独立设置。可选的狭臂单元是为系统内晶片的精确对准而设计的。提供晶片导流涡流以防止晶片碎裂，同时可调节精细的两轴运动以帮助保持晶片的对齐。SWECO ITAL-500配备了多种安全功能。随附的双手安全切换使操作程序能够启动而不必担心运动错误。每个拾取点和送出卸载点之间的运动限制由家庭交换机监控,以保护机构不受任何外部干扰。此外，还提供了300微米的接近传感器，用于检测晶片装载机在装卸过程中的任何障碍物。为了最大限度地提高ITAL-500的运行效率，提供了触摸屏控制器和教学挂件。控制器设计用于晶圆处理所需的各种参数的数据输入，而教学吊坠则允许对多个晶圆处理序列进行编程。此外，该机器人可通过以太网轻松集成到现有设备中，成为半导体制造项目的理想解决方桉。总体而言,SWECO ITAL-500晶圆处理程序是需要多个晶圆处理序列的半导体处理应用的理想解决方桉。它的一系列特点和安全措施允许对晶片进行精确和可重复的处理，而其直观的控制器和教学吊坠则可以方便编程和操作。