二手 TAKATORI TRO-25C #9358487 待售

TAKATORI TRO-25C Wafer Handler是一种专门为安全处理半导体加工中使用的易碎晶片而设计的机器人材料处理设备。该单元配备了精确的Z轴运动控制系统，使晶片能够安全地提升和运输到所需位置，而其超大的操作范围使其适合用于半导体加工室和工厂。TRO-25C采用耐用、轻巧的铝制框架,采用低调设计,可最大程度地减少与晶片表面的接触。该单元由直流电动机供电，由先进的运动控制单元控制，提供精确可靠的运动。它的进纸器和接收器设计成可以轻松处理多达25毫米的晶圆，并且可以调整到不同的高度和角度。TAKATORI TRO-25C具有很高的灵活性，可以方便地进入腔室，甚至可以与真空机一起使用。该装置配有两个晶片夹具-真空夹具和机械拾取夹具-以安全地处理不同尺寸和厚度的晶片。晶圆夹持器装有不锈钢膜，可以保护它们免受污染物的污染，而其洁净室兼容的设计可以防止晶圆受到任何污染。TRO-25C带有两个视觉系统-一个Cognex视觉工具和一个MVS视觉资产-以确保晶片与处理平台的精确对齐。其集成的安全特性包括一个外部E-stop和双臂联锁保护装置，保护晶片在装卸过程中不被损坏。该设备还具有自动错误感测模型,用于检测操作过程中发生的任何错误。TAKATORI TRO-25C是各种类型的半导体器件制造工艺如装配、测试和器件制造的理想选择。其坚固的设计和可靠的操作保证了晶片的安全处理，而其高度的灵活性使其适合不同类型的加工室。