二手 TAKATORI TRO-25C #9358488 待售

ID: 9358488
晶圆大小: 6"
优质的: 1998
Wafer transfer unit, 6" 1998 vintage.
TAKATORI TRO-25C是一款高性能晶圆处理器,设计用于半导体和电子制造的批量生产。它提供高速、准确的操作,能够高效制造设备。TRO-25C由两个臂组成;用于处理晶片的外臂和具有吸力和固定器功能的内臂。外臂具有高速直线运动,可以将晶片精确定位到内臂上。内臂有真空设备,以低残余力固定晶片,连同持有人和盖子,以确保边缘压力均匀,防止晶片断裂。晶片表面由一个空气缓冲保护,该空气缓冲填充到内臂上的高真空。使用计算机数控(CNC)系统,TAKATORI TRO-25C可以达到极高的精度。这是由于执行器的电机转速和精度高,以及每个手臂在驱动模式之间切换的能力,包括高精度定位模式、居中模式、快速模式和常规速度模式。TRO-25C专为单晶片和多晶片工艺而设计,能够处理高达8英寸的晶片。这是通过手臂能够实现的精细角度和平移运动来实现的。外臂装有一个特殊的机构,可以捕获和轻轻移动晶片,同时保持晶片周围的气压均匀。TAKATORI TRO-25C与大多数晶圆尺寸兼容,范围从100mm-200 mm晶圆直径。这允许灵活性和较高的生产率。此外,TRO-25C还配备了一个自动校准和一个污染管理单元,以及一个目测机器,用于监测和检测晶圆处理过程中的异常。总体而言,TAKATORI TRO-25C是一款专业级晶圆处理程序,由高质量的组件构建而成,可提供卓越的精度、高速操作和高效的晶圆处理。这款晶圆处理器具有复杂的特点,非常适合电子工程和半导体制造中的批量生产任务。
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