二手 ULVAC COVOT-6-X5A #293642937 待售

ULVAC COVOT-6-X5A是一种晶片处理程序,用于测试和加载半导体晶片。它是一种紧凑的设备，使用真空平台和一对机械臂将晶片从一个站移动到另一个站。该系统包含一个温度控制器,可确保测试操作的温度稳定性,且材料公差非常低。COVOT-6-X5A晶圆处理程序具有6英寸晶圆容量,每个工作站最多可容纳2个工具。为了确保晶片的精确传输和处理，该单元使用了一种基于真空的处理机，支持从卡盘到卡盘的真空操作。它还有一个有效的真空接口，利用一个虚拟平面正确的高度定向。机械臂的运动由一个包含人机界面（HMI）的基于PC的控制器控制。它还提供了一个配方程序编辑软件，允许用户为每个晶圆优化测试和操作配方。集成软件工具提供预测性维护功能,并监控资产状态以实现数据控制和可追踪性。模型的温度控制器使用Peltier电池来保持温度稳定,最高可达100 °C。它支持每个单独工具的集成温度设定点控制操作。集成温度控制器还具有一个自适应PID控制,以保持过程的准确性。ULVAC COVOT-6-X5A晶片处理程序具有开放式体系结构和大型访问窗口的人体工程学设计。直观的交换机和视觉指示灯包括在设备上,以及对板载故障排除菜单的访问。它还具有用于监测超速和疏散阶段的数字I/O模块。COVOT-6-X5A晶圆处理器是在半导体、微机电系统和光电生产过程等行业中进行多次加载、测试和测量操作的理想选择。它结合了高效的计算机控制机械臂、可靠的温度控制和广泛的安全特性，使其成为一个非常通用可靠的系统，使其能够满足现代生产工艺的需求。