二手 ULVAC COVOT-6-X5A #293664110 待售

ULVAC COVOT-6-X5A是一种晶片处理程序,旨在为硅和非硅基板提供高效可靠的晶片传输服务。这种晶圆处理程序具有模块化和灵活的体系结构,可提供卓越的独立操作或集成到现有工厂自动化系统中。COVOT-6-X5A能够处理尺寸不超过200毫米的单个晶片,工作温度范围为15°C ~ 40°C。晶圆处理程序的特点是内置清洁室环境控制到高A/C ROOM （ISO Class 4）,具有相对湿度控制（20 ~ 70% RH）,颗粒数为0.03 μ m（使用ULVAC-ICP3过滤设备）。序列程序基于PC,通过EMME/3软件进行简单的程序修订。这确保了产品配置、程序创建、维护和数据记录的简单直观。ULVAC COVOT-6-X5A处理程序有一个内置的冷却器冷却系统，有四个独立的冷却区，用于基板冷却。它包括自动卡带交换和卡带卸载到FOUP（或其他GAP）与一个可选的双臂处理程序更刚性的基板。晶圆传递单元配置包括双臂抓取，最多20个晶圆在一起，它可以被编程为两个传输轴和多臂控制机器人与多个旋转滑动机运输和操纵晶圆。夹紧工具采用高刚度气动喷射器和风吹式后压装置，用于可靠、安全的基板处理。COVOT-6-X5A的布线监视器包含多个内置的安全装置，以防止因布线断开而造成错误。这款晶片处理程序配备了PFA覆盖的皮带，包括一个带有专用编码器的微步电动机，用于精确晶片定位，并且可以与现有的客户工厂自动化资产集成，或者作为独立型号运行。为了确保操作可靠性，ULVAC COVOT-6-X5A晶片处理程序除了进行操作检查验证外，还利用诊断功能进行设备警报分析和维护日志记录。它还设计用于通过X射线CT系统减少维护操作。此晶圆处理程序符合CE标准,包括带有键盘的天花板控制台和一对大型显示器。