二手 ULVAC COVOT-6-X5A #293664111 待售
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ULVAC Covot模型6-X5A是一个通用晶圆处理程序.它设计用于处理多达六个晶圆,最大尺寸为8英寸晶圆。它具有两个独立的载荷端口,用于多组晶片的装卸,使工件和载板都能快速安全地装卸。其低调的设计和简单的机构使ULVAC COVOT-6-X5A狭窄空间的绝佳选择。晶圆处理程序具有高速、可重复和精确的处理能力。晶片可以以高达10mm/sec的速率传输到任何所需的压力点。真空吸力系统确保晶片在运输过程中不会发生移位,从而产生更高的重复精度。COVOT-6-X5A配备了PMP-X4和自动定心脚,以确保晶片在工具集中的准确定位。为确保晶片与传输机构之间的安全连接,它还配备了一个特殊的锁定机制。这使得ULVAC COVOT-6-X5A一个理想的晶圆处理程序在狭窄的空间使用。COVOT-6-X5A还提供室温蓝光对准系统。该系统使用两个CCD摄像机来捕捉图像,以保证准确性和稳定性。精密相机提供亚微米精度对准,这意味着最轻微的错位被快速检测和纠正。ULVAC COVOT-6-X5A是为最大限度的生产正常运行时间和长期耐久性而设计的。采用具有速度和扭矩控制的先进电动机,对晶圆进行平稳准确的处理。为了防止电动机过载,COVOT-6-X5A提供了一个级别警报,在电动机过载时警告用户。总体而言,ULVAC COVOT-6-X5A是在紧密工作区中处理晶圆的理想选择。它的低调和高速度的可重复操作结合先进的特点,使其成为任何要求苛刻的晶圆传输应用的理想选择。
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