二手 ULVAC COVOT-6 #293664113 待售

ULVAC COVOT-6是一个超低污染的6英寸晶圆处理器，提供可靠的晶圆处理能力和超低污染环境。该晶圆处理器的设计满足了半导体生产应用的严格要求。COVOT-6配有延长长度的卡盘，可提供更大的真空持有力和更好的平面度。其操作流畅，确保了高性能晶圆的交接和交付。处理程序的紧凑设计提供了节省空间的解决方桉,其灵活的加载站包括用于6"和8"晶圆的适配器以及用于对齐端口的端口。晶圆处理程序还包括几个功能，提供了一个高水平的污染控制。一种特殊的三重密封系统通过限制颗粒进入密室，有助于减少加工室内外的污染水平。不锈钢部件的使用有助于进一步减少潜在的污染源。处理程序的尺寸和空气污染抑制层使晶片在夹具和夹具中的传输更快、更容易。ULVAC COVOT-6 Wafer Handler还具有多项安全功能,例如用于提醒用户温度或真空变化的警报系统、进气口和出口的空气阻尼器以及排气侧的压力锁定。综上所述,COVOT-6 Wafer Handler是一种超低污染、节省空间的解决方桉,旨在满足半导体生产应用的严格要求。其功能提供了可靠、安全的晶圆处理、超低污染环境以及多种安全功能。紧凑的设计和延长的卡盘提供了平稳的操作，而三重密封系统和不锈钢部件有助于减轻污染的风险。