二手 ULVAC COVOT-6 #293664115 待售

ULVAC COVOT-6是一个功能齐全的晶片处理程序,旨在提供高精度和精确度来处理易碎且有价值的晶片。该设备能够处理直径在4英寸到6英寸之间的晶片，包括一个低压传输系统，用于优化晶片保护。COVOT-6具有± 5 μ m的可重复性，这是市场上可用的最高精度级别之一。该装置采用自动夹紧平台，能够牢固地固定和处理晶片，低压传输机确保对细腻基板的最大表面保护。单片载荷也是可用的，有一个独特的位置工具，可以精确测量晶片在单元内的位置。ULVAC COVOT-6的自动晶片洗涤能力最大限度地降低了污染风险，并消除了手动清洗的需要，提高了整体吞吐量。该资产还具有内置探测器和安全模型，以确保精确的晶圆负载状态得到监控和有效管理。晶圆处理程序具有直观、用户友好的界面,允许无缝、简单的操作。可配置的设置确保与相关组件（如机器人或工艺室）的最佳集成,以实现完整的自动化统一传输。该单元还可以检测和拒绝非标准晶圆尺寸和材料,并且模块化设计允许将附加模块轻松添加到其功能中。COVOT-6还提供了从炉子到炉子的精确、一致的温度控制以及超高速真空回收率。此精度级别可确保晶片加热和冷却均匀,从而获得最佳产品质量。总之，ULVAC COVOT-6是一种用途广泛的晶圆处理设备，提供卓越的精度和精度水平。它的自动化功能和直观的用户界面，以及低压传递、夹具平台和温度控制等一系列功能，使COVOT-6成为一个有效和可靠的晶圆处理解决方桉。