二手 ULVAC COVOT-6 #293664116 待售

ULVAC COVOT-6是一种高精度晶片处理设备，专门设计用于处理各种大小晶片。其先进的机器人系统以最大的谨慎和精确处理晶片，允许晶片的精确和可重复的运动。COVOT-6包括一个能够处理多达12英寸晶片的多轴机器人、一个真空负载端口和一个晶片传输雪橇。先进的机械臂允许精确定位，公差高达0.2毫米。此精度允许在所有轴上均匀移动,并且提高了模具放置的精度。真空载荷端口附件包括安全门和通风口，用于控制晶片装卸过程中的空气流动。这有助于减少污染和提高产量。它还允许在负载端口内精确放置晶片。ULVAC COVOT-6的运输雪橇能够同时处理多达四个晶片。滑轨滑入加载端口,便于加载和卸载。它有一个定位装置，旨在对准晶片，以便精确处理。COVOT-6还设有一个内部自检装置，负责监测所有作业阶段。这允许连续操作且中断较少。此外,它还监视流程并生成报告,以帮助操作员快速检测和解决问题。总之，ULVAC COVOT-6是一种专门设计用于提供大小晶片精确、可重复运动的晶片处理机。它能够处理公差为0.2毫米的12英寸晶片。它具有真空载荷端口、晶圆传输雪橇和内部自检工具来监控所有运行阶段。该资产非常适合提高晶圆处理操作的准确性和减少污染。