二手 ULVAC COVOT-6 #293664118 待售

ULVAC COVOT-6是一种先进的晶圆处理设备，设计用于处理各种尺寸的半导体晶圆，包括200毫米和300毫米晶圆。它具有很高的可靠性，并且在单个平台上运行了许多过程步骤，提供了晶圆的高效传输和定位。COVOT-6由一个主单元、两个机器人臂和一个机器人手组成。主机装有各种系统，包括控制模块、电源单元、通信板和安装机器人手臂的工具。两个机器人臂，每一个都可以独立或串联移动，能够转移和定位200毫米大小的晶片。机器人手用于从夹具或托盘中抓取和释放晶片。机器人手臂装有五轴冲头和监控和控制晶圆运动的视觉系统。机器人单元使用许多命令进行编程,使其能够执行各种操作,如对齐、传输和晶片定位。它还能够根据所处理晶圆的类型来改变速度、力和加速度。此外，该机器还包括使用环境控制装置保护晶片免受环境污染的特性。此单元在处理前过滤和清除刀具中的异物颗粒。总体而言，ULVAC COVOT-6是一种先进且高度可靠的晶圆处理程序，可在单个平台上提供高效的晶圆传输和定位。其卓越的性能和特点使其成为各种半导体工艺的理想解决方桉。其先进的伤害预防机制保护晶片免受机械损坏，其环境控制防范污染。COVOT-6为处理任何类型的晶圆提供了高度的受控操作。