二手 ULVAC COVOT-6 #293664119 待售

ULVAC COVOT-6是为半导体晶圆处理应用而设计的晶圆处理设备。它是一个完全自动化的可编程晶片处理系统,能够处理6英寸以下的晶片和4英寸以下的晶片堆栈。COVOT-6使用可靠的机器人技术和精密控制器相结合,在从一个工作站转移到另一个工作站时对晶片和基板进行平稳准确的处理。该单元由一个集成的晶片装载机、两个晶片处理机器人、一个空气承载定位器和六个处理对齐器组成。机械臂具有两个独立的高速6轴机器人，在晶圆处理方面提供可重复的精度和灵活性。这些机器人能够在最大扭矩控制下精确定位和移动晶片。ULVAC COVOT-6提供高精度和可重复性的定位与它的空气轴承定位器，其特点是精密直线电动机为其单独控制的三个阶段。它还包含六个板载微处理器和软件控件,允许每个对齐器对齐晶片以实现可重复的精度和吞吐量。晶圆处理机通过可以为每个应用程序定制的人机接口（HMI）系统进行编程和控制。它还配备了集成传感器，监控晶圆在转移过程中的位置和状态，并相应调整机器人手臂的运动。这使生产质量和吞吐量最大化。最后,COVOT-6配备了远程监控工具,使操作员能够轻松访问与资产性能相关的数据。从而允许操作员优化模型操作和过程，同时提高晶圆产量。ULVAC COVOT-6是一种理想的半导体工艺晶片处理设备,因为它保证了在各种工业应用中晶片处理的精确度。其强大的机器人技术确保了性能的速度、精度和可重复性,显着提高了吞吐量,并为整体生产力做出了贡献。