二手 ULVAC COVOT-6 #293664122 待售

ULVAC COVOT-6是一种全自动晶片处理程序,旨在提供6英寸晶片的高精度传输和处理。它用于半导体工业中，用于将晶圆从一个地方转移到另一个地方，并将其定位在特定的地方，如烤箱或熔炉。设备由主框架、机械臂、视觉系统、控制板和输送机单元组成。COVOT-6主框架坚固耐用,设计紧凑,可提供最佳性能,而不会占用太多空间。机械臂设有六个插槽，可容纳6英寸晶圆。视觉机器提供每个晶片的高分辨率成像，用于精确定位。此外，机械臂还配备了控制器板，使整个工具的操作变得简单直观。此外，该装置还配备了输送机资产，可以有效地转移晶圆并准确地放置在所需位置。ULVAC COVOT-6能够以600mm/s的最高速度加载和卸载晶片,从而提供高效的工作流。此外,它的高精度允许最大径向位置误差为0.2mm。这样可以确保每个晶片都精确地放置在烤箱/炉子上。COVOT-6还配备了清洁模型，以保持机器人手臂清洁。它还建有集尘机制，通过防止颗粒进入设备来进一步减少污染。而且，它的耐用设计使它的运作长寿。最后，ULVAC COVOT-6晶片处理程序提供了6英寸晶片的快速、精确和自动化的传输和处理。该系统高效、准确、耐用，非常适合工业应用。