二手 ULVAC COVOT-6 #293664124 待售

ULVAC COVOT-6是一个晶片处理程序，旨在自动化在一个周期内传输和处理多达六个晶片的过程。COVOT-6设计用于以卓越的精度和速度传输晶圆基板,从而降低在此过程中产生颗粒或其他污染物的可能性。ULVAC COVOT-6具有独特的伺服电动机和线性比例系统，结合了高精度控制和可重复精度。该系统使COVOT-6能够处理直径达200 mm的晶片-几乎是其他晶片处理机器的两倍。该系统的可重复精度确保晶片之间的粒子或基板传递最小，晶片加载时间最小。ULVAC COVOT-6在晶片堆栈配置方面也具有高度的灵活性。它可以容纳从普通200 mm晶片到2-4堆叠单元结构的几何形状,从而可以快速轻松地设置自定义堆栈配置。随着堆迭的灵活性,COVOT-6可以支持多种晶圆材料、尺寸、重量和加工方法。ULVAC COVOT-6还具有一套高级警报和安全功能,可确保晶片在整个传输过程中保持安全。这些功能包括紧急停止、正确的传输距离和速度设置,以及检测处理区域中任何外来对象的能力。这些特性还保证晶片的处理得到最高级别的照顾。COVOT-6是研发、设备制造和批量生产的理想工具,因为其成本效益有助于降低晶圆的传输、处理和加工成本。对于在处理不同尺寸、材料和配置的晶片时需要高度精度和可重复速度的应用来说，它也是一个绝佳的选择。它的灵活性、准确性和安全性使其成为晶圆处理的可靠选择。