二手 ULVAC XU-CM6000 #9170112 待售
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ULVAC XU-CM6000是一个完全集成的晶圆处理程序,设计用于各种应用。它是一种高度先进的晶圆处理解决方桉,非常适合复杂的处理操作,可快速高效地处理任何类型的晶圆。XU-CM6000设计为完全集成到您的自动化设备中,为您的所有晶圆处理需求提供简单可靠的解决方桉。ULVAC XU-CM6000具有多种功能,可帮助管理处理过程。它可以设置为处理多达十四种不同的晶圆尺寸,并有两个单独的表面调理处理区域和各种工艺步骤。控制器具有广泛的编程选项,使用户能够根据其流程的特定参数自定义系统。控制器还包括对最多四种不同语言的支持,允许用户以他们的首选语言设置单位参数。XU-CM6000具有触摸屏控制模块,可确保轻松操作和显示数据。该设备还具有离线控制机器,用于离线参数设置和监视。这样可以确保高效的设置时间,并允许用户监视和调整参数,而无需关闭工具电源。为了稳定控制,ULVAC XU-CM6000具有高精度的行星运动机构。这种设计保证了晶片定位和方向的平稳,以及晶片运动的精确控制。XU-CM6000还包含可编程的气动夹具,可在处理过程中设置以固定晶片。ULVAC中集成的安全功能XU-CM6000确保平稳、安全的运行。晶圆处理器配备了ESD(静电放电)保护,以及隔振、减震和冗余安全离合器。安全功能还确保资产可靠可靠。XU-CM6000具有广泛的功能,确保它能够满足任何晶圆处理应用程序的需求。高度先进的型号操作简单可靠,为各类应用提供高效、精确的晶圆处理。
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