二手 VARIAN E19013780 #148779 待售

VARIAN E19013780晶圆处理程序是一种自动机器人系统，设计用于在半导体晶圆制造环境中传输晶圆。晶圆处理程序由一个由X/Y/Z运动组件、晶圆传输臂和主CPU组成的大型机组成。其主机在整个过程中提供晶圆各组件的物理运动。X/Y/Z运动组件由X、Y和Z轴驱动电动机组成,这些电动机用于将载荷托架（通常在真空和重力滑轨上）移动。Z轴驱动电机能够调节晶片在机器人臂上的真空和重力位置。晶圆传递臂是在转移过程中承载和旋转晶圆的冲压式执行器。主CPU负责根据给出的指令控制移动和其他动作。晶片处理程序能够在同一机床内以各种配置传输晶片。晶圆传递臂的配置能够为晶圆传递和旋转提供多达四个不同的位置。这些不同的位置被编程，使机器人机械手能够准确地完成机床中所有的顺序任务。晶圆处理程序利用许多传感器，包括接近传感器、灯塔、按钮和限位开关，为控制晶圆运动提供反馈。机械臂具有在垂直和水平平面上操纵晶片的能力。晶片处理程序的循环时间取决于操作和在机床的多个组件之间传输晶片所需的时间。E19013780晶片处理程序设计用于在半导体制造环境中高效地传输、旋转和排序晶片。它旨在以最短的循环时间和提高的产量提供晶圆的高速和精确的传输。晶片处理程序可减少人为错误并确保晶片在整个过程中的精确对准。机器人臂能够根据其设计和配置提供最佳性能。