二手 YASKAWA CACR-PR01 #193015 待售

YASKAWA CACR-PR01是为半导体制造工艺设计的高速晶圆处理器。设计采用先进的伺服控制设备，用于高精度晶圆定位精度和快速、基于手势的操作。CACR-PR01集成了两个高精度直流伺服电机、一个节省时间的Ymaster控制器和一个用户友好的触摸屏，以提供可靠的晶圆处理系统。YASKAWA CACR-PR01能够处理多达200个直径为3-4英寸的晶片,最大重量为100克。它具有集成的提升/负载和卸载站,可安全、方便地转移到单个盒式磁带。CACR-PR01包括各种运动，包括倾斜、平移和旋转，以实现精确的晶圆定位和定向。运动范围以非接触线性轴为特征，高精度分辨率分别为0.0025mm和0.008度。YASKAWA CACR-PR01配备高分辨率、LED背光彩色液晶触摸屏，方便用户操作。图形用户界面可快速访问程序和菜单,从而实现快速设置和单位更改。高级诊断为改进晶圆处理过程提供反馈。CACR-PR01还具有PLC/NC兼容性,以及通过以太网将数据流式传输到PLC的功能。YASKAWA CACR-PR01包括一些安全功能,以提高安心度。它可以检测到晶圆溢出或晶圆从升力/负载站释放出来，以及突然的撞击或负载差异，并立即停止操作。此外,CACR-PR01还在直流伺服电机上安装了安全扭矩限制器,以防止因扭矩过大而造成的损坏。YASKAWA CACR-PR01专为处理时间敏感的晶圆制造过程而设计，可以在工艺周期之间快速移动晶圆。先进的运动控制机提供稳定可靠的晶圆运动。此外,易于使用的图形界面允许简单的运动控制和高精度的晶圆定向。与传统的晶圆处理系统相比,这提供了更高的准确性和可重复性。此外,CACR-PR01还包括一系列安全功能,可确保处理晶片时的安心。