二手 YASKAWA DX200 #293634164 待售

YASKAWA DX200是一种高性能晶片处理程序,旨在为自动晶片处理过程提供可靠和精确的操作。它采用独特的专利"自动提升"技术，确保晶片在加载/卸载过程中的准确和可重复放置。DX200每小时最多可处理200个晶圆,最大晶圆尺寸为6英寸（152毫米）。它有一个高速的10英寸真空喷嘴，快速准确地拾取具有高可靠性的晶片。利用内置激光传感器精确确定晶圆的位置，该传感器能够在运动过程中跟踪晶圆，确保精确放置。YASKAWA DX200还包括一个自动清洗站，以防止在处理过程中晶片受到污染。DX200控制器直观易用，有直接的语言和图形显示。该系统还包括高级诊断和维护功能,以确保操作平稳高效地运行。YASKAWA DX200的机柜设计容易集成到现有的自动化系统中。它还包含一个集成的冷却器和环境灰过滤器，以保持系统的凉爽和清洁。先进的安全功能确保系统免受潜在危害。此外，YASKAWA提供了一个可选的自动激光标记，可集成到DX200中，用于晶圆的自动标记和对准。此特性非常适合用于晶圆键合或蚀刻等半导体工艺。YASKAWA DX200是一个全自动晶片处理程序，在加载/卸载过程中提供可靠和精确的晶片放置，适用于研究、工业和商业应用。