二手 YASKAWA / MOTORMAN IA20 #173700 待售
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ID: 173700
Robot
20 kg payload
Vertical reach 1,598 mm
Includes:
NX100 Controller featuring INFORM III programming language and robust PC architecture
5 meter base cables
Teach pendant.
YASKAWA/MOTORMAN IA20是日本一家着名的专门从事机电一体化和机器人生产的公司YASKAWA-TECHNO制造的一种晶圆处理机。晶片处理程序是一种高效、经济高效的自动化解决方桉,用于处理直径达200毫米的晶片,最大传输速度为1.2米/秒。它能够完成整个晶片加工周期,包括加载、预对准、对准、清洁、干燥、涂抹和卸载晶片。YASKAWA IA20由两个处理阶段(X和Y)组成,最多分五列或五行,每个阶段在桌面上最多可容纳25个晶圆。该模块有一个集成驱动器,一个低矮的步进电机,内建编码器来控制晶片的装卸操作。模块还具有伺服驱动器,负责线性和旋转运动。这样可以确保每个晶片的精确对准。MOTORMAN IA20有一个集成的安全罩,可以通过气动缸打开和关闭。这样可以快速访问和维护晶片和模块内部。它还提供了获取敏感部件的通道,减少了损坏的潜在风险并确保了安全。晶圆处理程序易于安装和集成,因为它与一系列自动化系统一起运行,只需要基本编程。它提供了卓越的可重复性以实现一致的操作,并配有各种可选配件,包括气刀、刷子、刀片和喷嘴组件。这使得它适用于半导体生产中的多种应用。IA20有一台内置PC,可方便数据传输和启用实时质量检查。这确保了与来自不同供应商的软件和生产解决方桉的兼容性,并支持各种数据输出格式。晶圆处理程序的设计目的是将污染程度降至最低,使其适用于洁净室环境。YASKAWA/MOTORMAN IA20具有很高的可靠性和耐用性,提供卓越的性能和卓越的性价比。能源效率高,耗电量低,从而降低了运营成本。晶圆处理程序设计为快速可靠地完成大容量晶圆处理任务,确保高质量和高产量。
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