二手 YASKAWA SGD-01AN #193016 待售

YASKAWA SGD-01AN晶片处理程序是一种机器人臂，用于在洁净室环境中处理和控制半导体晶片。它旨在提供晶片的精确和可重复运动，可重复性为+/-0.02毫米，位置精度为+/-0.1毫米。SGD-01AN能够处理直径达200毫米、重量达7.7公斤的晶片。机器人手臂具有6度自由度的结构，另外还有一个可选的腕部模块，用于扩展运动范围和多功能性。其垂直范围为880毫米，尖端角度为360°，肩轴的旋转范围为± 340°，肘轴的旋转范围为≤235°。机器人臂还包括一个通过机器人命令语言（RCL）和网络命令语言（NCL）进行通信的以太网端口。YASKAWA SGD-01AN配备了一个高度可配置的控制模块，该模块提供各种运动轮廓，满足各种晶圆应用的需要。可以配置各种运动控制功能，允许波形、插值命令、同步命令、绝对/增量引用、家庭引用、教学属性创建、传感器输入和安全功能。其洁净室操作通过使用10级洁净空气过滤器系统得到支持，该系统包括用于出口空气、吸气空气和气罐的过滤器。这样可以确保晶片的处理尽可能的清洁和预防性维护。SGD-01AN晶片处理程序是为可靠性和长期使用性能而设计的。机器人手臂可连续操作长达24小时,无需维护。它还具有行业标准的PLC控制器,以及电压保持器控制器,两者均提供可靠的控制输入和反馈调节。此外,YASKAWA SGD-01AN支持运动安全功能,这对于洁净室环境至关重要。它还允许连续运动检测、避障和护腕罩，导致操作员安全和在整个操作过程中避免错误。总体而言,SGD-01AN提供了一个高效、坚固的晶圆处理解决方桉,具有可靠的性能和运动安全功能。YASKAWA SGD-01AN具有精确的运动、扩展的范围和可配置的运动轮廓,是晶圆应用的理想选择。