二手 YASKAWA TBD #9187160 待售
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YASKAWA TBD,一种半导体晶圆传输装置,是一种全自动、非接触晶圆处理设备。它采用灵活的模块化设计,允许定制解决方桉满足特定的用户需求。TBD具有三个独立模块:处理程序、加载端口和机器人。Handler模块设计用于在干净的环境中安全、安全地传输晶片,并包含满足用户需求的标准组件和自定义组件。它具有一个正气压系统,以维持晶圆室的稳定环境,以及直观的板载安全灯幕。负载端口是YASKAWA TBD和主机单元之间的接口。它具有识别、识别和选择特定晶片的多轴机器人手臂,以及用于非接触晶片处理的真空夹具。它还与大多数标准晶圆盒式磁带以及符合用户要求的自定义盒式磁带兼容。机器人模块采用铰接式穿梭臂设计,允许晶圆从处理程序转移到负载端口,可以配置各种传感器检测晶圆位置,并确保适当转移。它还支持基本的晶圆排序操作。TBD设计为高度可靠,可减少传输错误和停机时间。它与各种类型的晶片和盒式磁带兼容,并且可以与几乎任何现有的主机进行连接。该软件具有高度直观和用户友好的特点,可轻松配置各种参数。总体而言,YASKAWA TBD是一个有吸引力的洁净室自动化和半自动晶圆处理解决方桉。它为许多晶圆处理任务提供了可靠且经济高效的解决方桉,无论用户需要如何。
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