二手 YASKAWA XU-RC350D-J03 #293615372 待售

YASKAWA XU-RC350D-J03是一种晶片处理程序，旨在可靠地运输、倾斜和自旋湿晶片，用于半导体加工和晶片探测。这台机器是专门为300 mm和200 mm晶圆尺寸制造的。它具有垂直或水平配置,具有360°旋转功能的固定碗。XU-RC350D-J03基于台式运动设备和碗式运动系统。它能够一次处理一个晶片，同时还能实现可重复倾斜和自旋湿操作。台式运动单元具有高达900mm、0.01mm定位精度和10mm/sec高速运动的垂直运动。碗运动机具有完整的360°旋转能力，可重复性为0.25°，最大加速度为250 °/s2。YASKAWA XU-RC350D-J03配备了自动定心装置，根据工艺调整晶圆位置的区域大小。机器还可以配置晶片盒式存储和晶片自动加载。XU-RC350D-J03设计既耐用又节能。晶圆加工的温度范围很广，从-5 °C到90°C，可以在0.7MPa到1.1MPa的大气压范围内运行。它具有内置诊断工具,用于通过以太网、以太网供电和/或USB进行预防性维护和外部网络通信。YASKAWA XU-RC350D-J03设计小巧轻巧,便于在生产线内安装。它还被设计为高度符合人体工程学和用户友好，具有直观的编程和操作，以减少学习曲线。XU-RC350D-J03是一个多功能的晶圆处理程序，为各种过程提供可靠的操作和灵活性。