二手 YASKAWA XU-RCM6501 #293656479 待售

YASKAWA XU-RCM6501是一种适用于半导体晶圆加工的机器人晶圆处理器。它被设计为能够在受控环境中容纳和运输2英寸单晶片。XU-RCM6501提供了一系列用于自动化生产线的功能。YASKAWA XU-RCM6501有单臂和双臂两种配置。单臂配置能够处理8英寸晶圆，最大容量75公斤。双臂配置可处理8英寸晶圆，最大容量118.8公斤。它能够实现高达每分钟200个周期的速度。晶圆处理器配备了由伺服电动机和绝对编码器驱动的高精度三轴机器人臂。这使得晶片的定位更加准确和可重复。它还包括视觉摄像机和激光距离测量系统，用于提高准确性和可重复性。XU-RCM6501具有提供360度旋转的鳍状臂,能够处理直径可达300 mm的晶片。鳍状臂允许晶片在生产线中的多个站之间穿行。YASKAWA XU-RCM6501还包括一个综合安全系统，旨在提高晶圆处理的安全性。安全系统包括机器人适用区域的掩护以及有助于防止意外错误的传感器。此外，XU-RCM6501还提供了许多定制安装的选项，如自动装卸载具、自动清洗机器人手臂以及各种可编程速度设置。总体而言，YASKAWA XU-RCM6501是一种高效可靠的基于机器人的晶片处理程序，能够准确、安全地处理各种尺寸的晶片。XU-RCM6501的先进特性使其成为需要一致高速处理晶片的生产线的理想选择。