二手 YASKAWA XU-RVM4100 / XU-RVM4110 #293642781 待售

YASKAWA XU-RVM4100/ XU-RVM4110 Wafer Handler是为半导体和光子器件中晶圆盘的高精度处理而设计的机器人设备。这个晶片处理程序由一个机械臂组成，它可以绕着直径达600mm的晶片移动，装有一个或两个盒式磁带或框架。机械臂有一个强大的马达，能够达到0.4Hz速度的水平和垂直运动。XU-RVM4100/ XU-RVM4110配有高分辨率视觉系统，可确保晶圆的精确定位和抓握，而不会产生不必要的激光干扰和振动。晶圆处理程序基于XU-RVM4000系列机器人平台，其特点是外形非常紧凑，用户界面简单。其先进的软件能够以可靠的精度对晶片和其他物体进行可靠的加载和卸载。此外,YASKAWA XU-RVM4100/ XU-RVM4110支持多个使用点位置和灵活的模块化设计,以满足客户的需求。晶圆处理能力每循环最多50个晶圆，最大晶圆容量350个晶圆片。晶圆处理程序设计具有双重碰撞检测传感器和多个级别的ESD保护等多种安全功能。它还使用机器人手臂内部的压力传感器检测机器人和晶圆之间的任何接触，以防止损坏。XU-RVM4100/ XU-RVM4110符合SEMI-F47标准和CE标记。它还满足SEMI 、 、 、 、 、E14和其他安全标准要求。YASKAWA XU-RVM4100/ XU-RVM4110晶片处理程序专为实现最大的灵活性、速度、精度和可靠性而设计。它为处理用于半导体和光子学应用的大批量晶片提供了可靠、经济高效的解决方桉。这种晶圆处理程序为用户提供了更高的效率，更好的产量和生产增加。