二手 YJ LINK AUD-12Y #9290158 待售

ID: 9290158
优质的: 2013
Loader 2013 vintage.
YJ LINK AUD-12Y是一种晶圆处理程序,设计用于处理半导体和光电工业中的300 mm晶圆。这种晶圆处理设备具有机器人、线性轨道和DTM控制器。它用于将晶片从盒式磁带传输到FOUP(Front Opening Unified Pods),以及用于专门的处理目的。AUD-12Y具有100 300 mm晶圆/小时的传输速率,由于其高精度定位线性轨迹,其精度约为± 0.1mm。机器人是6-Axis模型,直线轨迹的行程长度为1200mm。机器人可以同时处理两个25Kg的重量.它还有一个碰撞检测系统,它可以在发生任何不安全的碰撞之前停止机器人。DTM (Device Transfer Machine)控制器由三个主要元素组成:机器人控制器、线性轨道控制器和边缘对齐控制器。机器人控制器控制机器人的运动,线性轨道控制器根据机器人的轨迹将命令传输到线性轨道,边缘对齐控制器接收来自线性轨道的信号并用于晶圆边缘对齐。YJ LINK AUD-12Y晶片处理程序还具有Cassette Loader,用于从包含25或50个晶片插槽的盒式磁带加载晶片。这种机制便于机器人运行时自动更换盒式磁带。AUD-12Y的另一个独特功能是其FOUP加载程序。该机构由一个独特的双带单元组成,它不仅使机器人能够将晶片转移到FOUP中,而且还可以防止由于细电极的环绕或缠结而造成的任何损坏。这台晶圆处理机可靠性高,设计紧凑,因此与C型处理器相比节省了空间。此外,YJ LINK AUD-12Y具有很高的可配置性,可以定制以满足独特的出厂要求。所有这些特性使AUD-12Y成为半导体和光电装配行业的理想晶圆处理器。
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