二手 ASM 9000 #9360909 待售

ASM 9000是晶圆步进器，一种用于半导体制造以创建集成电路的机器，或IC。它配备了高性能的光学器件，提供在轴上投影和二维对准芯片印记到晶圆。该设备采用框架布置，可实现各方向动态对准，提高芯片压印工艺精度。该系统采用先进的步进发动机,它使用检流计将加载到单元中的晶片移动,用户可以对其进行调整,使晶片按照步进电机的指示移动。步进电机允许精确移动,最大速度可达10mm/s。9000晶片步进器还使用了最先进的曝光机将芯片图像精确曝光到晶片上。它采用具有高通量的准分子激光器，提供高达3000晶片/小时的通量和高达0.6毫秒/行电路模式的扫描速度。它还采用了光束消光工具，以确保曝光过程中的高精度，以及一个完全封闭的激光室，以消除污染。此外，资产允许用户调整曝光功率和剂量。该模型还配备了可视化和控制设备，使用户能够监控机器操作，并能够追踪关键参数。该系统包含一个用户友好的操作员界面，具有可靠的数据归档单元，便于维护和优化流程。在安全性方面，ASM 9000晶片步进器的设计是为了保证机器操作员和附近人员免受高强度激光束的危险暴露。它配有众多的安全联锁、冗余的钥匙系统，以及一个在紧急情况下带有中断保护的轻型窗帘。9000晶片步进器先进的设计和强大的性能使其成为大批量生产IC的理想选择。其精度、准确性和过程控制能力使其成为生产技术先进的集成电路的可靠工具。