二手 ASM WS 896 #9144222 待售
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ASM WS 896是一种先进的晶片步进器,旨在提供精确和可重复的晶片步进器处理。它非常适合研究和工业应用,并且经过优化以满足最高的性能要求。ASM WS896具有大型、高分辨率的高级光学透镜系统和4DOF电机控制功能。这样可以实现完整的3D阵列和曲面特征,精度为0.7微米。该机器还具有超高速多视场扫描和60 μ米焦点变化功能,可实现超细成像和数据采集,满足一系列应用要求。WS 896能够以每秒1600步的最高速度运行,从而产生最小的漂移和高度精确的扫描。此外,步进器还具有限制曝光时间的功能,以确保精确的模式特征。它还提供了一个光学编码器,用于精确的模式定位。步进器可以处理最大12英寸的晶圆大小,允许大量晶圆大小的工作流。此外,它还具有300 mm的配置功能,可提供最适合的处理。WS896包括一个严格的安全设计,近距离感应器和超精确夹具。它还提供了一个专利优化的4点有源夹具,确保完美的扁平晶片和精确的定位。此外,896型采用全自动晶片装卸解决方桉,以提高效率和安全性。它支持手动和自动加载。晶片步进器还具有CCD对齐功能,以确保精确和可重复的定位和划桨。除了与各种标准控制系统兼容外,其软件包还支持逼真的3D模拟和可视化。总之,ASM WS 896是一种可靠、通用的晶片步进器,适用于广泛的应用。其先进的光学器件、精确的图样、安全高效的晶片装卸,使其成为研究和工业要求的理想选择。
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