二手 ASM WS 896 #9159227 待售

ASM WS 896是由半导体行业生产设备领先供应商ASM Linx制造的先进晶圆步进器。步进器能够对先进的CMOS、MEMS和MEMS-on-CMOS设备进行光刻工艺。晶片步进器配有强大的3轴电动机，确保器件之间的精确对准，确保晶片的高精度曝光。设备的4到6毫米光斑大小允许进行各种过程,从单曝光到栅极阵列过程。步进器还具有每小时500晶圆的最大曝光速度,从而提高了生产速度和吞吐量。此外，该系统还配备了先进的光学单元，可确保整个晶片基板的均匀照明，并确保所有掩模和结构的光子剂量均匀。这使得ASM WS896最可靠、最精确的光刻工具之一。步进器还具有一整套有助于减少生产误差的对齐和模式检查功能,以及内置的交叉定位机,以实现最高的精度。该工具配备了一种先进的CCD监视器，可以调整和优化资产参数。WS 896还具有EasyRun蚀刻控制软件，允许精确的蚀刻过程，如干蚀刻，以及湿蚀刻。Etching控制软件允许使用全局高级蚀刻参数,例如蚀刻角度、蚀刻速率和蚀刻速率保护。此外,WS896采用低振动步进器设计,降低了产生的噪声水平,使模型适合工业使用,并提高了刀具的性能。该设备还具有许多安全功能,例如温度监测、电源喷射和多个用户可设置的安全限制。总体而言，ASM WS 896晶片步进器是一种功能强大、可靠的光刻工具，具有广泛的特性和功能，适合广泛的应用。从晶片的生产精度暴露到蚀刻和工艺优化，该系统为各种生产需求提供了可靠、高精度的解决方桉。