二手 ASM WS 896 #9181638 待售

ASM WS 896是一种晶片步进器，使用最先进的光学微光机来曝光和开发用于大容量IC和MEMS生产的晶片。设备包括多轴晶片处理系统、集成曝光子系统、高级工艺监控单元和全自动晶片清洗站。步进器使用每秒300毫米的速度（带有加速度/减速曲线）,以确保在一定范围的晶圆尺寸上具有准确和高的吞吐量模式。此外，激光引导定心映射晶片的外围边缘，以获得最佳的放置精度。ASM WS896具有高分辨率晶圆定位机,允许大范围扫描以适应多种曝光技术。其扫描光学设备包括具有消色差透镜和两个曝光源（g-line和i-line）的可变数值孔径投影。该工具还配备了先进的多区域级，与闭环的扫描仪到阶段同步资产集成在一起，以提高准确性。该模型采用先进的TTL和TTL以及可选的二进制校正对准技术，用于校正光刻误差并确保高精度的图桉放置。自动化的散装设备还确保有效的晶片装卸，以提高吞吐量。在过程监控能力方面，WS 896配备了专有的成像和临界维度（CD）计量系统。此单元监视每个模具的曝光前和曝光后图像,以自动识别缺陷。此外，还使用基于光学的工艺控制机器来监测凹版和非凹版工艺，并检测工艺漂移。该工具还能够使用干式湿清洗工艺自动清洗暴露的晶片。此过程可以清洁晶片表面,而不会产生其他缺陷,从而提高晶片的产量和质量。总而言之，WS896是一种高性能晶圆步进资产，可用于高容量的IC和MEMS生产。它具有高精度的晶圆定位模型，允许大范围的扫描，并利用闭环对准设备提高精度。该系统还配备了成像和CD计量单元、自动晶圆清洗站以及基于光学的过程控制机，以确保过程的稳定性。