二手 ASM WS 896 #9302497 待售

ASM WS 896是一种用于半导体制造工艺的高端晶圆步进器。它是一种DUV扫描步进器，具有更高的终端分辨率和速度容量，允许更精确的操纵晶片。ASM WS896提供精确的放置精度和高达0.5 um的均匀性。它具有高达9英寸的非常宽的扫描字段,可提供非常精确的处理操作。它还提供高达每小时16个晶圆的高吞吐量速率，非常适合大型生产运行。WS 896内的光学设备使用两台激光干涉仪，为标线和晶圆表面提供精确定位，减少俯仰误差。扫描系统利用线性驱动器来确保在整个磁场上的平滑运动。晶片的定位精度在1.5 µm以内，适合最精确的操作。WS896具有多种功能,例如内置对齐单元,可让用户快速准确地对齐电路。它还配备了双光束制图机和预锐化功能，确保在标线准确和均匀成像。此外，该晶片步进器具有内置的环境控制工具，可以更好地控制加工室内的湿度。ASM WS 896是任何半导体生产设施的理想选择，因为它能够在相对较短的时间内生产出具有均匀性和精确度的高质量晶片。它也是用户友好的,因为安装只需几分钟,而且只需要最少的维护。ASM WS896具有智能光学资产和广阔的视野,可用于各种应用,从基本制造操作到更复杂的成像系统。