二手 ASML 2500/40 #293828001 待售

ASML 2500/40是由光学光刻设备技术领先者ASML生产的最先进的晶圆步进器。ASML 2500/40使用先进的光学器件来成像，并以极高的精度和分辨率将图样投影到硅晶片上。2500/40拥有19个独立轴,提供完整的恒星和倾斜/旋转控制,用于在光刻过程中检查和调整晶圆。机器的核心是多轴万向节式镜子和432段投影镜头组件。设备运行温度为10C-30C，真空整流系统维持所需的压力环境。投影透镜使用氟化氙激光器将图样精确投射到硅片上。2500/40使用全场照射来创建特征大小从0.2微米到40.5微米的高精度图样。机器还包括晶圆对齐、缺陷管理、配方开发等几个自动化过程。ASML 2500/40能够在不到30秒的时间内采购晶圆,生产吞吐量高达每小时500晶圆。为确保高性能,ASML 2500/40配备了先进的波长单元,可控制X/Y偏振光,从而改进图样放置、迭加和抵抗响应。一个独立的照明机器提供了优化的成像保真度和对比度。该工具的一部分还包括复杂的实时故障检测和校正算法，以确保最佳性能。2500/40是为高精度和高通量光刻作业而设计的最先进的晶圆步进器。2500/40具有多轴设计、高品质光学和先进的自动化功能,提供了无与伦比的准确性和可重复性。这一高效可靠的资产非常适合各类现代半导体制造，使其成为精密快速生产集成电路的有力工具。