二手 ASML 300 #9138102 待售
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已售出
ID: 9138102
DUV Stepper, 6"
Options:
Secs Refl_Image_Sensor
Arms
Pep_1_Productivity_Upgrade
Pep_2_Productivity_Upgrade
Reticle_Error_Compensation
Flatness_Model
ISQ_Disto_Model Mark_Sensor
Batch_Streaming
Intensity_2
Focus_Monitoring
Aerial
IRIS
Flexible_Signal_Tower
Extended_Na_Range
Focal_Adjustment
Extended_Exposure
TIS
Athena
Fast_TTL_Alignment
Automated_Doe_Exchanger
Phase_Modulator_FTTL
Phase_Modulator_OA
Alignment_Reports
Annular_Illumination
Athena_Allow_High_Orders
Scribelane_Marks
Library_Config_3
Visual_Alignment_Camera
1998 vintage.
ASML 300是设计用于半导体芯片生产的最先进的晶圆步进器。它是一种先进的步进器,具有最新的功能和自动化功能,可帮助提高芯片生产的效率和成本效益。机器有一个标准化的平台，允许用户在各种技术中从步进串行操作快速切换到并行操作。它附带了各种各样的工具和选项来支持精度和可重复性，允许用户选择和协调其芯片上的操作顺序。300还能够进行针迹扫描，使其能够组合多个操作而无需重新加载晶圆。这样可以确保更高效的工作流和更快的周转时间,并减少错误。步进器本身就是一台强大的机器，为光刻工艺步骤提供了高精度和重复性。其步进分辨率为0.5µm，最大扫描场宽432mm，最大扫描速度为每秒130万次。除了强大的技术功能外,ASML 300还拥有一系列自动化工具,使用户能够快速轻松地创建配方以满足其芯片生产需求。机器的扫描仪控制软件自动执行步进对齐和同步，帮助用户减少非生产性时间，更高效地创建晶片。此外，300人还拥有在几秒钟内添加晶圆的能力，使半导体工人能够轻松地整合新材料。ASML 300对于那些在芯片生产中寻求先进晶圆步进技术的人来说是一个很好的选择。步进器具有高速度、认可的可重复性、精确度和自动化功能,对于那些希望提高生产能力的人来说,它肯定是一个有吸引力的选择。
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