二手 ASML 5000 / 50 #69343 待售

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製造商
ASML
模型
5000 / 50
ID: 69343
晶圆大小: 6"
Steppers, 6" Floppy drive: 5.25", can be converted to 3.5" floppy TEP Kay pneumatic (1 unit does not have this) Mark 3 E chuck Mark 3 P chuck No memory upgrade.
ASML 5000/50是一种高科技晶圆步进器,用于半导体行业内的各种任务。该装置是生产集成电路或计算机芯片的重要部件。步进器使用高度专业化的光学系统一次扫描一层晶片。然后,每次扫描都将与前一层精确对齐,从而允许从晶圆逐层组装处理器。该系统采用微加速玻璃透镜和镀锌镜,确保光掩模的放置极为精确。当微加速玻璃透镜被激活时,它会自动在两个点之间旋转,并将单个光束投射到晶圆的特定区域。振镜接着读取晶圆的坐标,让光束精确地指向它需要去的地方。每次扫描图层时,都会重复此过程。ASML 5000/50还配备了加热级,通过将晶片保持在均匀温度来提供更高效的层扫描。这有助于减少晶片的热膨胀,进而有助于减少成品的失真。该设备还具有内置的迭加对准功能,允许在光掩码之间进行精确的迭加对准。这种对齐方式对于确保成品的准确性至关重要,因为成品必须具有与成品完全一致的元件。5000/50配备了多种安全特性,包括液氮灌装口。此功能可防止异物颗粒在整个系统中传输,从而确保设备的清洁度。最后,5000/50还附带了内置的Clean-In-Place (CIP)功能,可最大程度地减少手动清洗的需求。这有效地减少了维护机器所需的手动小时数,同时也最大限度地降低了由于手动过程而引入污染物的风险。ASML 5000/50是一种功能强大且高度专业化的设备,对于生产尖端计算机芯片至关重要。它执行各种重要任务,从逐层装配到高度精确的光掩码对齐。最重要的是,它还配备了多种功能,保证了设备的安全性和效率。
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