二手 ASML 5000 / 55 #9049734 待售

ASML 5000/55是用于生产半导体产品的晶圆步进器。它是一种高度先进的基于光刻的工具，能够将微小的特征成像到基板上。ASML 5000/55是一种电子束（e-beam）光刻设备，利用扫描电子柱和两级光学器件在晶圆或晶片上成像图样。电子束柱利用高压光束将电子聚焦和偏转到一个表面上，在那里创建图像。光学阶段放大并聚焦光束以创建分辨率极高的图像。5000/55具有小至4nm的成像特性大小,这对于开发越来越小、速度更快的微处理器至关重要。它专为大批量生产而设计，可处理高达6英寸的晶圆，循环时间每晶圆少至5秒。该系统由几个单独的组件组成，包括电子柱、光学级、束罩和光学百叶窗、真空系统和晶圆传输单元。电子柱是用于创建和引导电子束的高压电子、电磁体和元件的精密机构。光学级利用各种元素来确保光束的操作方式使其在基板上创建所需的特征。光束罩和光学百叶窗用来限制光束和基板之间的相互作用点，而真空机则创造了理想的低压成像环境。最后,晶片传输工具与光学百叶窗配合使用,可确保基板在成像过程中牢固地固定到位。5000/55的占地面积不足6平方米,对于其能力的资产而言,它被认为相对紧凑。它易于安装和操作，但创建必要的真空环境和保持柱内高压所需的复杂力学和工程需要一些技术专业知识。