二手 ASML 5500 / 100C #9032667 待售

ASML 5500/100 C是晶圆步进器，是一种光刻机，用于半导体製造。这台机器使用一系列镜片和镜子来创建图像，然后将图像传输到晶圆。ASML 5500/100C是一种高分辨率的模型,能够产生非常精细的图像,从而能够制造出具有高性能规格的设备。5500/100C可以通过将图像传输到最大曝光尺寸为100毫米的晶片上来产生顶级光刻。它配备了160毫米和200毫米自动对焦投影镜头，使各种图桉和基板的打印具有高精度和重复性。5500/100C还具有两个高分辨率口罩,一个用于1倍,一个用于5倍,可创建8级照明级别。光学设备与TwinMotion级集成在一起,该级最多可容纳三个晶片,并且在暴露晶片和未暴露晶片之间移动时允许高通量。此外，ASML 5500/100C配备了能够将晶片精确定位到所需坐标的高精度级定位系统。这是借助内置的电机编码器完成的，该编码器提供了舞台位置的精确反馈。该机还配备了CCD摄像头，以便能够精确地捕捉图像。ASML 5500/100C具有低真空环境，有助于降低大气中尘埃颗粒的影响，以及低温环境，确保镜片和镜子保持在指定的公差范围内。5500/100 C还配备了多流程集成程序、用于跟踪生产的数据记录单元、实时反馈的自动化监控机等高级功能。总体而言,5500/100C是一种高质量、高分辨率的晶片步进器,它提供了一系列功能,可提高高端光刻的准确性和可重复性。ASML 5500/100 C具有广泛的功能,能够制作精细的图像,为生产高性能半导体器件提供了可靠的解决方桉。