二手 ASML AT 1100 #293664232 待售

ASML AT 1100是为当今领先的半导体制造商设计的高精度晶圆步进和光刻工具。它利用先进的技术在分辨率为0.6微米的半导体晶片上绘制微小的特征图样。4轴扫描仪将标线对准晶片级，可以覆盖2英寸（50.8mm）到12英寸（304.8mm）的范围。机器的平行多轴空气轴承设计允许精确的对准和运动控制的标线和晶片。利用短波长浸入式光刻技术可以进一步缩小特征尺寸。采用硅浸入式透镜的两场光学设计能够使焦距减小6倍。这可以使特征更紧密地排列在一起。另外，两场光学设计提供了0.93的高数值孔径，这导致了更快的循环时间。AT 1100是一个由ASML ACE软件提供支持的交钥匙系统。它利用来自均匀性、强度和多层能量均匀性算法的最佳激光源特性来实现最佳的紫外线暴露。它也使用TML（Time Modulated Laser）系统来减少在激光照明中常见的热感应失真。ASML AT 1100还通过其放置监视器（PM-1）和晶圆级计量提供了先进的迭加性能和准确性。本机X/Y位置精度为4nm, Z为 2角,Z为5nm,以确保曝光时的最大精度。该机器配备了一个集成的电动对齐器，可提供快速、准确和可重复的对齐方式，而无需手动调整。为了保证最高的可靠性和吞吐量,AT 1100配备了智能服务模块,可以检测小问题并提醒操作员。此外,还集成了一整套流程监控和审核工具,以最大程度地控制流程。总之，ASML AT 1100是为半导体应用而设计的精密晶圆步进器，分辨率为0.6微米，并具有TML系统和集成共对齐器等先进功能。由于其智能的服务模块和过程监控功能,该机器具有很高的准确性和可靠性。AT 1100是制造半导体晶片的可靠、能干的选择。