二手 ASML AT 1100 #293813215 待售

ASML AT 1100是晶片步进器（wafer stepper），一种在半导体製造过程中用来将电路模式传递到硅片上的光刻工具。它将多种光学功能结合成一台机器，如曝光、对准、成像和舞台运动。它是先进的微光刻技术的一个例子，在均匀性、精确度和速度方面都取得了优异的成绩。AT 1100采用模块化设计,使客户能够快速配置和部署一系列系统。它以高达10 x 10mm的字段大小运行,从而为所有类型的晶片提供高生产率和精确度。步进器的高精度特性和ASML对专有技术的使用保证了最小细节的摄影分辨率高达0.17微米。这使客户能够创建更小、更快的纳米设备。ASML AT 1100配备了广泛的自动化功能，如校准、控制墨盒和电机驱动器。这就减少了晶圆步进器的安装和操作的成本和时间。它还允许对任何设备参数进行高级控制,称为"成像配方"。成像配方是光学工艺参数的自动配置,通常在工作之间进行调整,从而为用户提供制造过程中的更大灵活性。此外,AT 1100还具有多种安全功能,可确保安全可靠的运行。它的高度自动化包括紧急停止系统,其制动器可以在激活数毫秒内停止扫描运动以及任何进一步的运动。自动启动和安全系统意味着即使在高度敏感的环境中也可以远程监控和操作机器。总而言之，ASML AT 1100晶圆步进器是一种用于半导体生产和研究的强大而可靠的工具。它的模块化设计、高分辨率功能和自动化功能使其高效、经济高效,为客户提供了生产高级集成电路的竞争优势。