二手 ASML AT 1150 #293664233 待售

ASML AT 1150是一种顶级晶圆步进器,可帮助制造商为电子行业创建微型电路组件。步进器能够自动、精确地将图样暴露在生产过程中使用的晶片表面上。步进器以高精度运行，使其成为用于数据芯片和微处理器等产品的电路和组件的商业生产线的重要组成部分。该设备是围绕一个高度先进的两级光学系统建造的，该系统基于一个双"Nipkow"圆盘和一个DUV（深紫外线）光源，该光源的最大分辨率为4.5纳米，并有可能在晶圆上形成极小的图桉。因此，步进器的平版印刷输出质量极高。步进器还使用低噪声平台操作，并利用一组高精度的线性电动机级在曝光台阶之间移动X、Y和Z轴中的晶片。这确保了各种结构层次的精确对齐。还包括一套全面的数字控制功能，如Z轴运动参数、曝光时间和几个对齐级别。阅读器可用于测量晶片周长排列的对准标记、LWD（线宽加倍）检查、焦点检测和空中成像,以评估和表征过程结果。还提供了一个用于完全标线平移功能的索引器,用于在整个晶圆形状和大小上实现扫描曝光的无与伦比的均匀性。此外，AT 1150设有广泛的单位安全功能，并提供多层密码保护机。所有这些使得ASML AT 1150成为大容量生产内存晶片、逻辑晶片、DRAM晶片、非易失性内存晶片等高端电路的最佳选择。