二手 ASML AT-1150C #9226883 待售

ASML AT-1150C是为生产较小的半导体器件如MEMS、QFN和LED封装而设计的高精度晶圆步进器。该设备具有5.5英寸的视野,即使是图像保真度最高的最复杂结构也能成像。其5X还原光学元件的高数值孔径（NA）为0.60,加上基于步进的衍射还原,在整个视场上的分辨率为1.3微米。系统分为三个组件：光学单元、控制器和阵列发生器。光学机器由空间滤镜、舞台、物镜、照明器和对准器组成。舞台连接到控制器,用于精确对准物镜下方的样品。对齐器用于调整物镜的角度方向，以精确定位成像工具。控制器用于控制和管理整个资产,以及存储生成的模式。模型的模式发生器组件基于激光源并生成高分辨率模式。它可以在整个视场上生成分辨率为0.5微米的衍射受限图像。这一特性，加上5X还原成像和高NA光学，使得它非常适合生成高图像保真度的复杂结构。这款设备高度可定制，可以配置多个镜头、温度控制器、各种测量设备等不同选项。它还与行业标准软件集成,用于掩码对齐和模式生成。该系统采用的技术先进，极具可靠性。该单元设计为不间断运行,维护成本较低。这台机器具有高产能力,能够产生各种格式的优秀图像。综上所述,ASML AT 1150C是一种世界级的晶圆步进工具,专门设计用于以最高精度生成高精度和高质量的图像。其先进的光学、高分辨率的模式发生器以及各种可定制的特性，使其成为生产复杂结构的理想选择。