二手 ASML AT-1150C #9292620 待售

ASML AT-1150C是一种晶圆步进器或光刻机，用于半导体和其他工业生产集成电路和其他器件。步进器利用先进的光学技术，包括汞蒸气灯、激光、紫外线和近红外LED光学器件，将一组图样和蓝图精确投射到晶圆或类似材料的表面上。晶片步进器由主体和光学头两大部分组成。主体包括四轴设备，随着晶圆从光学头来回传递，在水平、垂直、倾斜方向提供精确的运动。它包括一个底板、精密旋转晶片台、进给机构和光学头推动器，所有这些都使用五相溷合电动机来保证晶片的精确定位和传递。光学头包含一个短弧灯、光学透镜系统、虹膜和三个光学镜。它用于集中来自灯的光束，并投射一组蚀刻图桉到晶圆表面。ASML AT 1150C支持多种投影配置文件,使其可用于多种电路类型。它有一个自动对准单元，利用数值算法和光学定位的组合，快速调整光学头到每一个图桉或蓝图的正确焦点位置。此外,步进器还可以针对各种功能进行编程,如层曝光、晶圆校验参考点、晶圆分析和工艺优化。与专用晶圆映射计量机配合使用时,AT:1150C能够在芯片设计布局中实现0.5 µm的分辨率和0.3 µm的精度。它配备了激光对准技术，如多场对准和基准对准，以减少芯片设计中的错位误差。该机采用自动化过程控制监控器，可以测量晶圆厚度、涂层和图样缺陷。ASML AT-1150 C的循环时间仅为12秒,能够快速高效地生产高质量的芯片设计。该机也节能，在峰值性能时只需要0.7 kW的功率。它密封的机身和无尘的设计使得它非常适合需要洁净室处理的应用。此外，步进器还配备了安全系统，如紧急停止开关和中毒百叶窗，在紧急情况下可以很容易地打开。