二手 ASML AT-1150C #9412396 待售

ASML AT-1150C是半导体工业中用于光刻的先进曝光工具。它是为高速、高吞吐量和低拥有成本而设计的最先进的晶圆步进器。ASML AT 1150C利用先进的光学器件、高度稳定和精确的检查设备以及独特的晶圆处理系统进行自动、无人操作。AT:1150C包括三个主要组件：光学单元、检测机和晶圆处理工具。光学设备采用6.0mm波长的蒸气汞曝光源以及脉冲喷雾扫描模型。这提供了高分辨率的曝光能力,精度为1.5 nm,图像字段为215mm × 215mm。该检测设备基于实时扫描系统，该系统利用象限检测器阵列和像素内检测器。该单元能够监测曝光过程的每一个元素，并能够创建晶圆的详细地图。最后，晶圆处理机设计为提供自动化的无人操作，总体拥有成本较低。它利用一个不锈钢轨道，最多支持四个晶圆，并且可以用多达19个用户定义的程序进行预编程。AT-1150C能够处理薄膜、多层薄膜和所有类型的晶圆基板,如石英、硅和金属。此外，它还配备了一个层对晶片对准工具，用于精确的晶片定位，减少曝光时晶片的失准。它还配备了防污染维护资产，可以处理小至0.2 µm的颗粒。总体而言,AT 1150C是一种高级曝光工具,旨在满足半导体行业通常严格的要求。其先进的光学、检测和晶片处理系统使其成为高速、高吞吐量和低拥有成本操作的理想选择。