二手 ASML AT 1200 #9293661 待售

ASML AT 1200是用于集成电路制造的一种晶圆步进器。它使用光刻技术在晶片上创建图样，然后将其用于形成集成电路的各种组件。该设备包括一个固定臂（固定基板）和一个可移动臂（可移动臂），该臂携带用于将所需图样传递到晶圆上的光掩模或标线。ASML AT-1200利用模式生成器，使用一系列光敏探测器来精确控制标线的位置。整个系统位于一个闭环伺服单元上,它可以精确地移动臂。这使设备能够快速扫描晶圆上的标线以准确传输图像。为确保将图像精确传输到晶片,AT 1200包括透镜检查（TTL）机器。它由位于投影工具前面的成像相机组成。当图样扫描到晶片上时,成像摄像机会检查图样是否准确。如果发现任何不准确之处，将通过资产控制软件的智能自动纠正。AT-1200利用多种扫描方法,包括行扫描、270度扫描和矢量扫描。根据电路设计的复杂性，将采用不同的扫描技术来确保最高精度。为了确保模式准确、一致地传输到基板,ASML AT 1200还包括一个可编程曝光监视器和一个数字图像处理器。与其他ASML步进器一样,ASML AT-1200包括一系列诊断和维护工具,可帮助技术人员及时识别和修复计算机的任何问题。该模型还为用户提供了不同级别的自动化，从手动到全自动晶圆处理。总体而言,AT 1200是一种先进且用途广泛的晶圆步进器,为制造商提供各种用于集成电路设计的扫描和成像选项。其闭环伺服设备、TTL系统和可编程曝光监测器可确保向基板准确、一致地传输图样。该设备还提供了一系列维护和诊断工具，以保持机器处于峰值运行状态。有了这些特点，AT-1200是制造集成电路的理想机器。