二手 ASML AT 1200 #9360855 待售

ASML AT 1200是晶圆步进机，一种光刻光学对准设备，用于生产半导体集成电路（IC）。它使用透镜、镜子和其他光学元件将图样化的图像暴露在硅片上。ASML AT-1200还能够在一次曝光中生成多个阵列层,从而加快整个制造过程。AT 1200采用了一系列先进的元件，以确保晶圆上图桉的光刻掩模精确、可重复对齐。它使用两个分辨率为0.1 μ m的同步伺服驱动器扫描仪,以独立方向精确移动晶圆和掩码。内部平衡系统和三轴加速度计也可用于检测和调整遮罩位置的任何不平衡或倾斜,从而使设备能够快速校正而不会停止曝光。AT-1200使用两个光学器件，一个投影透镜和一个晶圆透镜，将来自掩模的光聚焦到晶圆上。这些透镜允许光刻面罩的光以高精度投射到晶片上。此外,还集成了一台高级测光机,可根据掩模在多次曝光时发出的功率水平的任何差异进行调整。ASML AT 1200晶圆步进器还与光、空气和真空系统集成在一起，以确保工具的最佳对准和操作。该光资产提供节能照明，包括为每个集成电路的层设计定制的光掩模和为晶圆透镜调节光的入射角以实现最佳曝光的激励器。空气模型可确保晶圆步进器的内部环境不受任何可能破坏的灰尘和碎片颗粒的影响。而真空设备则保持了系统内精确掩模对准的稳定一致的环境。总体而言，ASML AT-1200晶片步进器是半导体IC制造商使用的一种先进的光学对准装置，在最短的时间内生产具有可重复精度和效率的高质量集成电路。它的自动化组件确保了光刻面罩的精确和一致对准，而其集成的光、空气和真空系统保持了最佳的操作环境。