二手 ASML AT 1200B #293752358 待售

ASML 1200B是一种先进的晶圆步进器，用于集成电路（IC）的制造。它是一种光刻工具，使用紫外线和光刻剂来图样IC。ASML 1200B是一种晶圆级、步进重复的设备，具有改进的光学设计和更陡峭的柱角。这样可以使更多的光到达晶圆表面,从而实现更快的吞吐量和更高的吞吐量。步进器也有较高的精度，特徵大小小至0.6微米，对准精度小于一微米。ASML 1200B具有通用的对齐系统。它可以产生线扩展函数（LSF）、临界尺寸均匀性（CDU）、边缘放置精度（EPA）、低颗粒物水平（LPL），以及其他最佳装置性能所需的参数。该单元还提供可调曝光设置和虚拟场监视器（DFM）,以实现IC阵列制作过程的产量优化。步进器还提供自动对焦调节功能，使机器能够不断监控和调整以获得最佳对焦。步进器还具有一系列曝光设置的可编程参数。ASML 1200B可以处理各种光刻胶和抗反射涂层（ARC）,以获得最佳的光刻图样。它既能处理正负光刻胶，又能精确优化器件类型。该工具能够处理直径不超过8英寸的单模晶片。该设备还能够处理直径不超过12英寸的多模晶片,从而提高吞吐量。综上所述,ASML 1200B是一种高级晶片步进器,可提供更高的吞吐量、更高的设备精度、可编程参数和可调节的曝光设置,以用于优化设备阵列处理。它能够处理单模和多模晶片，以及一系列的光刻胶和ARC材料，在集成电路的制造中提供优异的性能。