二手 ASML AT 1250D #9241299 待售

ASML AT 1250D晶片步进器是一种用于在半导体器件制造过程中在硅晶片上曝光光刻胶的系统。它使用高精度、激光干涉仪控制的扫描仪以及一系列全面的工具和设置，使工程师和技术人员能够准确和可重复地制造先进的半导体器件。该平台利用一系列组件子系统来实现此级别的性能和复杂性。为实现其自动化操作,晶片步进器使用多达8个机动化运动轴,包括X、Y、Theta、Z、Accel和Focus,这些轴经过管理和集成,以确保非常准确和可重复的结果。晶圆步进器的光学子系统采用集成透镜（最多8个）和安装在球形龙门上的可移动镜，以及激光二极管和光电二极管阵列。这些元件和步进器的干涉仪控制扫描仪的组合使工程师能够在半导体晶片上精确一致地绘制光阻图样。除了自动运动和光学子系统外，该平台还包括先进的人机接口（HMI）软件，该软件作为操作员控制台，使工程师和技术人员能够直观地、高效地与设备进行交互。HMI包括一个包含多个按钮的控制面板、几个基于文本的显示、快捷键以及针对不同配方和过程的预编程设置。它还促进晶片步进器与一系列外围设备的集成，例如用于精确处理晶片的机器人臂，或用于更复杂的工艺工作的视觉系统。最后，该系统还包括一些环境传感器，使设备能够监测和调节其内部温度、压力水平和流量，因为这些参数可能因光刻工艺的性质和复杂性而有很大差异。所有这些功能结合起来,有助于ASML AT-1250D晶圆步进器在集成电路和其他微电子元件的生产中提供卓越的性能。