二手 ASML AT-850C #293591901 待售

ASML AT-850C
製造商
ASML
模型
AT-850C
ID: 293591901
System CYMER ELS-7600.
ASML AT-850C是专门为大型光刻工艺设计的先进光刻设备。这种步进器被半导体制造商用来在晶圆上创建高度精确的图样,然后用于集成电路的制造过程。ASML AT850C能够产生分辨率为8微米的模式,同时保持0.43微米的配准精度。它拥有780毫米x 680毫米的大视场,使其能够轻松地在大型晶片上工作。它的无尘和无污物设计使它能够满足高清洁标准并提供可靠的性能。这种步进器的特点是作为光学柱的自动平衡系统,以确保底座稳定性,以及用于高精度定位的变焦成像单元。它还有一个内部校准机,旨在消除外部校准的需要,减少校准时间。AT:850C有一个Xenon Lamp的光源,并且配有许多配置和控制曝光程序的功能。这种工具非常适合于高精度的制造,这要归功于它的先进软件包,旨在最大限度地提高步进器的性能和效率。它利用基于图像的故障检测和纠错,以确保高质量的模式。这种步进器还配备了多种安全特性,如联锁和安全联锁系统,防止机器操作不正确。它具有自动移动功能,只需按一个按钮,即可将资产移动到预先编程的位置。AT 850 C是一种非常精确的制造实践所必需的高精度机器。作为市场上最先进的步进器之一,此型号提供卓越的性能和卓越的可靠性。
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