二手 ASML AT-850C #9235474 待售
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ASML AT-850C是为半导体工业设计的晶圆步进器。这种装置通常用于高精度光刻等应用中，以制造半导体芯片。ASML AT850C的设计采用了一种非相干照明设备，该设备采用了与所需图样相对应的镜头配置。该系统由自动对准单元、高分辨率成像光学器件、精确多区级、专用晶圆座组成。AT:850C的自动对齐单元允许对设备的阵列进行实时对齐验证。这是通过检测各种参数来完成的，如位置偏移、旋转偏移、失真和强度。此外,ASML AT 850 C能够同时处理多达8种独立模式,同时保持高精度和吞吐量。AT-850C的高分辨率成像光学器件能够对所需的图样进行非常精确的成像。镜头配置保持高精度，可针对变化的情况快速调整。这种特性允许机动性和较低的光刻余量，从而产生更高的产量。AT 850 C晶片级提供x, y分辨率高达0.1micron, z分辨率降至25nm。这个高度精确的阶段允许在每个区域中有一个小的但已解析的成像区域。这也允许整体小型化的单元组件。另外，晶片级拥有一个大、平、光滑的表，用于晶片的精确运动。ASML AT:850C还配备了晶片支架，可快速方便地交换不同的晶片尺寸。该晶片支架提供了一个安全的制表机，以准确地推进晶片通过生产过程。此外,该装置还集成了倾斜和倾斜校正角度底座.倾斜底座操作精度为1弧秒，以提高工艺效率。总体而言,AT 850C是一种多用途的晶片步进器,具有精确的光学和分级能力.该器件为生产性价比高的半导体芯片提供了高精度环境。ASML AT 850C配备了现代化的设计工具和功能，使其适合各种光刻应用。
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