二手 ASML AT-850C #9256716 待售
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ASML AT-850C是半导体制造过程中使用的晶圆步进器。它是一种高通量、高精度的光学光刻设备，设计用于快速将晶片暴露于预定义的图样中。在芯片制造过程中，ASML AT850C可用于曝光小至5纳米的图桉。该系统由控制台和曝光点室两部分组成。控制台包含阵列源（例如,MEMS设备）、光源、光学器件以及控制设备所需的相关电子设备。POE腔室包含所有可移动元件-将晶片放置在适当位置的级、用于移动级的电动机组件以及用于固定晶片的卡盘。AT:850C的光学元件由几个高精度元件组成，如准直器、掩模对准器、投影镜头和扫描仪。准直器将光引导到将图样固定在适当位置的掩模对齐器上。然后投影透镜在投影到晶圆上之前放大图样。扫描仪用于将晶片移动到适当位置以捕获图样。ASML AT 850 C还具有若干高级功能,可提高准确性和吞吐量。它利用双头晶体扫描机，以更高的分辨率和更快的扫描速度。该工具还具有使用激光测量模型来精确定位标线和晶圆相对于彼此的对准资产。ASML AT:850C还包括许多其他功能,以确保精度和可靠性,包括自动聚焦功能和边缘检测设备,以便在晶圆对齐时向系统提供反馈。该单元还包括一个对准监视器,以确保准确的掩码对准。此外，AT 850C能够将晶片精确定位至1微米，并能处理直径达400mm的晶片，几乎没有或没有失真。该机器能够对小几何形状进行极其精确的曝光，并能达到不到1纳米的分辨率。总之，ASML AT 850C是一种适合半导体制造工艺要求的高精度、高通量晶片步进器。它的高级功能确保了各种几何形状和分辨率的精确、可重复的曝光。该工具的双头晶体扫描资产、对准模型和自动对焦功能始终提供可靠、准确的曝光。
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